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压力变送器的前世今生

发布时间:2015-06-04浏览:470次

 压力变送器一般用于测量液体、气体或蒸汽的液位、密度和压力,然后将压力信号转变成4~20mA DC信号输出,可以分成电容式压力变送器和扩散硅压力变送器,陶瓷压力变送器,应变式压力变送器几种,是工业设备中用以控制工业过程和压力变化的重要原件。压力变送器被广泛应用与石油、化工、电力、钢铁、轻工等行业的压力测量及现场控制中。

  压力变送器发展经过了发明,技术发展, 商业化集成加工,微机械加工阶段4个阶段,下文就为您介绍这四个阶段的一些小知识。
  1、发明阶段(1945 - 1960 年):这个阶段主要是以1947年双极性晶体管的发明为标志。此后,半导体材料的这一特性得到较广泛应用。
  2、技术发展阶段(1960 - 1970 年):随着硅扩散技术的发展,技术人员在硅的(001) 或(110) 晶面选择合适的晶向直接把应变电阻扩散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成较薄的硅弹性膜片,称为硅杯。这种形式的硅杯变送器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、便于集成化的优点,实现了金属- 硅共晶体,为商业化发展提供了可能。
  3、商业化集成加工阶段(1970 - 1980 年):在硅杯扩散理论的基础上应用了硅的各向异性的腐蚀技术,扩散硅变送器其加工工艺以硅的各项异性腐蚀技术为主,发展成为可以自动控制硅膜厚度的硅各向异性加工技术,主要有V 形槽法、浓硼自动中止法、阳极氧化法自动中止法和微机控制自动中止法。由于可以在多个表面同时进行腐蚀,数千个硅压力膜可以同时生产,实现了集成化的工厂加工模式,成本进一步降低。
  4、微机械加工阶段(1980 年- 今):上世纪末出现的纳米技术,使得微机械加工工艺成为可能。通过微机械加工工艺可以由计算机控制加工出结构型的压力变送器,其线度可以控制在微米级范围内。利用这一技术可以加工、蚀刻微米级的沟、条、膜,使得压力变送器进入了微米阶段。
  以上就是压力变送器发展的四个阶段,现如今,压力变送器已经成为工业设备中十分重要的一种元件,并将在未来继续发展。上海自动化仪表一厂专业生产各类压力变送器,有需要的客户欢迎前来选择订购!