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压力变送器发展的四个标志阶段

发布时间:2015-08-03浏览:546次

 压力变送器从他的发明到现在,大体上经历了4个阶段,分别是发明阶段(1945 - 1960 年),技术发展阶段(1960 - 1970 年),商业化集成加工阶段(1970 - 1980 年)以及微机械加工阶段(1980 年- 今)。

  1、发明阶段(1945 - 1960 年)
  压力变送器的发明阶段主要是以1947年双极性晶体管的发明为标志,此后的很长一段时间,半导体材料这一特性得到了广泛的应用。
  2、技术发展阶段(1960 - 1970 年)
  随着硅扩散技术的发展,技术人员在硅的(001) 或(110) 晶面选择合适的晶向直接把应变电阻扩散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成较薄的硅弹性膜片,称为硅杯。这种变送器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、便于集成化等优点,为商业化发展提供了可能。
  3、商业化集成加工阶段(1970 - 1980 年)
  在硅杯扩散理论的基础上应用了硅的各向异性的腐蚀技术,扩散硅变送器其加工工艺以硅的各项异性腐蚀技术为主,发展成为可以自动控制硅膜厚度的硅各向异性加工技术,主要有V 形槽法、浓硼自动中止法、阳极氧化法自动中止法和微机控制自动中止法。由于可以在多个表面同时进行腐蚀,数千个硅压力膜可以同时生产,实现了集成化的工厂加工模式,成本进一步降低。
  4、微机械加工阶段(1980 年- 今)
  过微机械加工工艺可以由计算机控制加工出结构型的压力变送器,其线度可以控制在微米级范围内。利用这一技术可以加工、蚀刻微米级的沟、条、膜,使得压力变送器进入了微米阶段。
  压力变送器的主要分类:
  1、差压变送器
  差压变送器是测量两压腔之间所受压力差值的压力变送器,差压变送器分别有“+”和“-”两个压腔。分别承接两作为比较值的压力,通常把压力较大的一端作为“+”压腔。
  2、压力变送器:
  压力变送器是以真空度为参考零点的一款压力变送器。在使用过程中,传感器的参考零点可以随地点地域的变换而自动调整无需校正。外形与表压型压力变送器无二致。
  3、表压型压力变送器:
  表压型压力变送器是以当地大气压作为参考零点的压力变送器。
  4、中高温压力变送器
  针对测量现场环境温度过高或者测量介质温度过高,必须使用中高温压力变送器,该变送器具有较好的零点温度系数和灵敏度温度系数,在温度较高的环境下能够保证测量精度。在订购该类型变送器时须告知测量介质温度和环境温度,以为方便制作方合理应对。
  5、投入/插入式液位变送器:
  液位变送器分为投入式和插入式两种,两种形式无二致,都是把所受压力转换为液深。当水深为1m时,变送器所受压力为10KPa,订购此类传感器时就注意:
  1.所测量液体密度应告知生产单位。
  2.当测量介质具有腐蚀性时应告知生产单位。
  3.当测量介质温度超出过低或过高时就告知生产单位。